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Miroir Sphérique UVE, 13,5 nm, 25,4 mm de dia., 5° angle d’incidence

TECHSPEC® Extreme Ultraviolet (EUV) Spherical Mirrors

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Longueur d'Onde de Conception DWL (nm):
13.5
Substrat: Many glass manufacturers offer the same material characteristics under different trade names. Learn More
Fused Silica (Corning 7980)
Rugosité de Surface (Angstroms):
<3 RMS
Diamètre (mm):
25.40 +0.00/-0.13
Distance Focale EFL (mm):
250.00
Radius of Curvature (mm):
500.00
Traitement:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
Spécification du Traitement:
Rabs >60% @ 13.5nm
Type de Traitement:
Metal/Semiconductor
Rayon R1 (mm):
500.00
Épaisseur (mm):
6.35 ±0.25
Type:
Spherical Mirror
Largeur à Mi-Hauteur FWHM (nm):
0.50

Conformité réglementaire

RoHS:
Certificate of Conformance:

Description commune pour les Produits de la même Famille

  • Traitement multicouche Mo/Si sur des substrats superpolis
  • Réflexion maximale pouvant être atteinte à 13,5 nm
  • Conçus pour les applications de focalisation de faisceaux UVE
  • Bande passante étroite pour les applications de génération d'harmoniques d'ordre élevé

Les Miroirs Sphériques Ultraviolets Extrêmes (UVE) TECHSPEC® présentent un traitement multicouche Mo/Si permettant d'atteindre une réflexion supérieure à 60 % à 13,5 nm. Ils sont conçus pour un angle d'incidence de 5° et prévus pour la focalisation de sources laser UVE non polarisées. La rugosité de surface inférieure à 3 Å RMS minimise la dispersion, un attribut essentiel pour les longueurs d'onde UVE qui sont caractérisées par une dispersion plus importante que les longueurs d'onde plus longues. Les Miroirs Sphériques UVE TECHSPEC ont une bande passante étroite d'environ 0,5 nm ; ainsi, seule une harmonique d'intérêt de 13,5 nm est réfléchie dans les applications de génération d'harmoniques d'ordre élevé. Parmi les applications typiques des miroirs sphériques UVE, on compte l'imagerie par diffraction cohérente, l'imagerie UVE et le nano-usinage UVE.

Note:Test data from each mirror's production run sample included.

 
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