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Miroirs Sphériques Ultraviolets Extrêmes (UVE)

TECHSPEC® Extreme Ultraviolet (EUV) Spherical Mirrors

Traitement multicouche Mo/Si sur des substrats superpolis
Réflexion maximale pouvant être atteinte à 13,5 nm
Conçus pour les applications de focalisation de faisceaux UVE
Bande passante étroite pour les applications de génération d'harmoniques d'ordre élevé

Les Miroirs Sphériques Ultraviolets Extrêmes (UVE) TECHSPEC^® présentent un traitement multicouche Mo/Si permettant d'atteindre une réflexion supérieure à 60 % à 13,5 nm. Ils sont conçus pour un angle d'incidence de 5° et prévus pour la focalisation de sources laser UVE non polarisées. La rugosité de surface inférieure à 3 Å RMS minimise la dispersion, un attribut essentiel pour les longueurs d'onde UVE qui sont caractérisées par une dispersion plus importante que les longueurs d'onde plus longues. Les Miroirs Sphériques UVE TECHSPEC ont une bande passante étroite d'environ 0,5 nm ; ainsi, seule une harmonique d'intérêt de 13,5 nm est réfléchie dans les applications de génération d'harmoniques d'ordre élevé. Parmi les applications typiques des miroirs sphériques UVE, on compte l'imagerie par diffraction cohérente, l'imagerie UVE et le nano-usinage UVE.

Note:Test data from each mirror's production run sample included.