Name: Miroir Plan EUV, 3,5 nm, 25,4 mm de dia., AOI 5°
SKU: 38-759
Price: €2.520,00

Miroir Plan EUV, 3,5 nm, 25,4 mm de dia., AOI 5°

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

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Diamètre (mm):

25.40 ±0.25

Planéité de Surface (P-V):

λ/10 @ 632.8nm

Single Crystal Silicon

Surface Arrière:

Commercial Polish

Qualité de Surface:

10 - 5

Spécification du Traitement:

R_abs >60% @ 13.5nm, 5° (s-pol)

Traitement:

Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon

Type de Traitement:

Metal/Semiconductor

Angle d'Incidence (°):

Ouverture Utile (%):

Longueur d'Onde de Conception DWL (nm):

13.5

Bords:

Fine Ground

Parallélisme (arcmin):

Rugosité de Surface (Angstroms):

<5 RMS

Épaisseur (mm):

6.35 ±0.508

Tolérance Épaisseur (mm):

0.508

Type:

Flat Mirror

Gamme de Longeur d'Onde (nm):

13.18 - 13.68

Largeur à Mi-Hauteur FWHM (nm):

0.50

Énergie Centrale (eV):

Conformité réglementaire

RoHS:

Conforme

Certificate of Conformance:

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Description commune pour les Produits de la même Famille

Réflexion maximale atteignable à 13,5 nm
Conçus pour diriger le faisceau UVE et séparer les harmoniques
Disponibles en versions angle d'incidence (AOI) de 5° et 45°

Les Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE) TECHSPEC^® sont des miroirs multicouches conçus pour apporter la réflectivité maximale pouvant être atteinte à la longueur d’onde et l’angle d’incidence de conception. Ces miroirs présentent un traitement déposé sur un substrat de silicium monocristallin superpoli et une rugosité de surface inférieure à 3Å RMS. Les miroirs à AOI de 45° se révèlent utiles pour diriger les faisceaux polarisés S tandis que les miroirs à AOI de 5° peuvent être utilisés avec des faisceaux non polarisés. Les applications portant sur les miroirs UVE comprennent l’Imagerie par Diffraction Cohérente (Coherent Diffractive Imaging, CDI) et la recherche en science des matériaux. Les Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE) TECHSPEC peuvent également servir de sélecteurs harmoniques pour les faisceaux à Génération d’Harmoniques d'Ordre Élevé (High Harmonic Generation, HHG).

Remarque: Les données de test d'un échantillon sont incluses pour chaque cycle de production de miroirs.