Filtres Dichroïques pour l’Ultraviolet Extrême (EUV)

Les Filtres Dichroïques pour l'Ultraviolet Extrême (EUV), également connus sous le nom de séparateurs de faisceau, sont destinés aux applications de génération d'harmoniques élevées en offrant une efficacité de séparation élevée entre les longueurs d'onde EUV et NIR. Dotés d'un substrat en silice fondue, ces filtres supportent des puissances laser plus élevées que les séparateurs de faisceau à l’angle de Brewster et les filtres EUV. Les Filtres Dichroïques EUV offrent une large bande passante de 5 à 40 nm. Outre la génération d'harmoniques élevées, ces miroirs peuvent également être utilisés dans des systèmes qui prennent en charge les applications EUV, telles que la lithographie EUV, le nano-usinage EUV, l'imagerie diffractive cohérente et la génération d'impulsions attosecondes ultrarapides.