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ID Famille de ProduitsL'identifiant de famille de produits est utilisé pour identifier les présentations de produits et peut être utilisé pour accéder rapidement aux présentations en utilisant le champ de recherche. #3906

Miroirs Sphériques Ultraviolets Extrêmes (UVE)

Extreme Ultraviolet (EUV) Spherical Mirrors

Extreme Ultraviolet (EUV) Spherical Mirrors


  • Traitement multicouche Mo/Si sur des substrats superpolis
  • Réflexion maximale pouvant être atteinte à 13,5 nm
  • Conçus pour les applications de focalisation de faisceaux UVE
  • Bande passante étroite pour les applications de génération d'harmoniques d'ordre élevé

Les Miroirs Sphériques Ultraviolets Extrêmes (UVE) présentent un traitement multicouche Mo/Si permettant d'atteindre une réflexion supérieure à 60 % à 13,5 nm. Ils sont conçus pour un angle d'incidence de 5° et prévus pour la focalisation de sources laser UVE non polarisées. La rugosité de surface inférieure à 3 Å RMS minimise la dispersion, un attribut essentiel pour les longueurs d'onde UVE qui sont caractérisées par une dispersion plus importante que les longueurs d'onde plus longues. Les Miroirs Sphériques UVE ont une bande passante étroite d'environ 0,5 nm ; ainsi, seule une harmonique d'intérêt de 13,5 nm est réfléchie dans les applications de génération d'harmoniques d'ordre élevé. Parmi les applications typiques des miroirs sphériques UVE, on compte l'imagerie par diffraction cohérente, l'imagerie UVE et le nano-usinage UVE.

Note:Test data from each mirror's production run sample included.

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