Précision de surface

Indication de la planéité entre pic et creux d'une surface donnée en termes d'ondes (un multiple ou une partie d'une longueur d'onde de référence). Par exemple, une spécification de 1/4 d'onde signifie que la planéité de la surface s'écarte d'un quart de la longueur d'onde utilisée pour tester la surface. Si la longueur d'onde est de 550 nm, la planéité doit être maintenue à 140 nm près afin de produire une précision de surface de 1/4 d'onde.  Les données sont également exprimées en RMS (racine carrée moyenne), c'est-à-dire que les valeurs de pic à creux sont élevées au carré, puis la racine carrée est prise dans leur moyenne.