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Platines Motorisées Adaptées au Vide de Zaber™

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  • Options de vide faible (10-3 Torr) et de vide poussé (10-6 Torr) disponibles
  • Platines linéaires, verticales ou de rotation à 360° et options de goniomètre disponibles
  • Contrôlées par des fils de passage minimaux

Les Platines Motorisées Adaptées au Vide de Zaber™ sont conçues pour être intégrées dans les systèmes de vide et sont disponibles en platines à vide poussé 10-6 Torr ou en configurations à vide faible 10-3 Torr. Les composants du corps de la platine sont spécialement conçus pour limiter le dégazage des contaminants dans la chambre à vide, les moteurs pas à pas inclus sont conçus pour la gestion thermique dans les environnements à vide poussé, et les platines peuvent être connectées à une interface informatique avec un minimum de fils de passage. Les Platines Motorisées Adaptées au Vide de Zaber™ sont disponibles en configurations linéaire, rotative à 360° et goniométrique, ce qui permet de construire un système complet à 6 degrés de liberté dans le vide. Ces platines sont idéales pour les applications fonctionnant dans des conditions de vide poussé, telles que la fabrication et le traitement des semi-conducteurs, ou les processus de traitement optique.

Remarque : Un kit accessoires, #75-301, est vendu séparément.

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