Les objectifs d’interférométrie sont utilisés en mesures optiques sans contact pour obtenir des paramètres de mesure de surface. Ils peuvent être utilisés pour examiner la topographie de surface avec une très haute précision – à une fraction de la longueur d’onde. Dans ces objectifs, un faisceau lumineux passe à travers un séparateur, se dirige sur la surface de l’échantillon et sur un miroir de référence interne. La lumière réfléchie de ses surfaces se reforme, et une frange d’interférence est alors formée. Les objectifs Michelson offrent des distances de travail comparatives, champs de vision et profondeur de champ au point plus larges, alors que les objectifs Mirau sont utilisés en applications nécessitant un grossissement et/ou ouvertures numériques plus élevés. L’utilisation de la lentille tube Nikon de 200 mm (#58-520) permet à ces objectifs d’être intégrés avec une caméra de monture C.
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